真空鐘擺閥

簡要描述：真空鐘擺閥動閥連接了傳感器，讓控制器可以讓閥門打開，關(guān)閉或到第三個位置，提供更好的設(shè)定點精確度和可重複性控制功能。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2026-07-23
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詳細介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地	進口
加工定制	否

Htc真空鐘擺閥具有高性能真空壓力控制系統(tǒng)，控制節(jié)流擺閥板可做開關(guān)動作，調(diào)整閘板開口大小及調(diào)整壓力(手動), 主要設(shè)計用來取代傳統(tǒng)的線性作動真空閘閥，以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦，就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統(tǒng)的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。

真空鐘擺閥的應(yīng)用

高科技制程后段壓力控制和隔離閥

應(yīng)用產(chǎn)業(yè)

>> SEMI - 半導(dǎo)體

>> FPD - 光電面板

>> CVD - 化學(xué)氣相沉積

>> Solar - 太陽能

APC鐘擺閥特點

集成整合壓力控制

精確的壓力控制

密實的隔離

反應(yīng)時間快

友善簡易操作使用接口

材質(zhì)	本體		A6061-T6
	閥板		A6061-T6
開關(guān)壽命	200,000 cycles
氦氣泄漏率 (一大氣壓壓差)	本體鋁合金		＜1×10-9 mbar .l /sec
	本體鋁合金 ,超硬陽極處理		＜1×10-5 mbar .l /sec
烘烤溫度	本體		≤ 120 ℃
	驅(qū)動器		≤ 80 ℃
	電磁閥		≤ 50 ℃
壓力范圍	鋁合金		1×10-8 mbar to 1.2 bar
	鋁合金 ,超硬陽極處理		1×10-6 mbar to 1.2 bar
大壓差	1.2 bar
開啟前壓差	≤ 5 mbar
壓縮空氣壓力	4 ~ 6 Kg/cm2
開 / 關(guān)時間(秒)	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	1.2/1.2	1.2/1.2		2.0/2.0
密封圈材質(zhì)	閥板		Viton O-ring 密封圈
	閥蓋		Viton O-ring 密封圈
驅(qū)動器	氣動氣缸與手動旋鈕
重量	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	22Kg	32Kg		52Kg
安裝位置	水平或垂直
選配	a. 其他密封圈材質(zhì) b. 加熱器