MAG500 替代 PEG100 的說明

MAG500 替代 PEG100 的說明

一、 PEG100 停產與替代  PEG100 冷陰極真空計已于 2025 年底停產，現已停止接收新訂單。但后續 INFICON 仍將提供售后服務。INFICON 在多年前就推出了 PEG100 的替代產 品：Gemini MAG500 冷陰極真空計。這兩款真空計工作原理相同，理想的工 作場景也相同，它們都適合用于監測腔體的本底真空。如圖，MAG500 有多 種貨號可以選擇，確保法蘭、電氣接口、模擬量輸出范圍選擇正確，就可 以即插即用替換 PEG100。

二、 MAG500 與 PEG100 精度指標不同  如下圖，MAG500 與 PEG100 的精度指標有區別。MAG500 在 1E-8 至 1E-2mbar 范圍內都擁有±30%的精度，而 PEG100 僅在 1E-8 至 1E-4mbar 范圍內擁有 ±30%的精度。當壓力高于 1E-4mbar 時，PEG100 沒有任何精度指標。

如上圖所示，是在 INFICON 瑞士工廠進行的對比測試，當腔體內（空氣/氮 氣）真實壓力高于 1E-4mbar 時，多支 PEG100 均出現了讀值低于真實值， 非線性誤差的現象。兩款真空計均符合說明書指標。該實驗說明了 MAG500 與 PEG100 在高真空下表現一致。當腔體壓力高于 1E-4mbar 時，MAG500 讀 值可能會明顯高于 PEG100，這是由于 MAG500 測量相對 PEG100 更準確導致 的。

三、 冷陰極真空計具有氣體選擇性  PEG100 與 MAG500 均屬于冷陰極真空計，該測量原理決定了：當真空計測量 同一個壓力的不同氣體時，讀值也不同。INFICON 真空計都是以空氣/氮氣 進行出廠校準。如下圖所示，以 MAG500 為例（可以部分代表 PEG100）展示 了不同氣體的真實壓力與測量到的壓力的曲線。在很多鍍膜設備中，會在 鍍膜工藝過程中充入氬氣，這被稱為工藝壓力。以氬氣為例，當它在腔體 內真實壓力為 6E-3mbar 時，其顯示壓力已達到約 1.5E-2mbar，即將觸發冷 陰極真空計的超壓保護。在量程范圍內，冷陰極真空計測量氬氣讀值均會 明顯偏高。

四、 測量工藝壓力的理想選擇——CDG045D  針對在過去使用 PEG100 測量了工藝壓力，并且氣體類型不是空氣的設備， INFICON 推薦使用滿量程為 0.1Torr 的 CDG045D 監測工藝壓力。該真空計為 電容薄膜規，其特點是精度高，且不具有氣體選擇性，無論測量的是何種 氣體，都能顯示其真實值。使用 0.1Torr 的 CDG045D，其精度較高的范圍是 0.1Torr 至 5E-4Torr(13.3Pa 至 6.6E-2Pa)，可以覆蓋大多數設備原本 PEG100 監測的工藝壓力范圍。

五、 總結  整體來講，MAG500 是替代已經停產的 PEG100 的zui jia xuan ze，它們在高真空下 表現一致，MAG500 也做到了超越前輩的精度指標。PEG100 在幾十年的產品 壽命中被應用在了各種設備中，某些情況下 PEG100 被用來監測工藝壓力。 若工藝氣體中使用了氬氣，結合 MAG500 與 PEG100 的精度差異以及冷陰極 真空計的氣體選擇性，會導致用于替代 PEG100 的 MAG500 讀值明顯偏高， 甚至觸發真空計的超壓保護。針對這種情況，INFICON 推薦使用精度更高、 不具有氣體選擇性的 CDG045D，用于監測工藝壓力。