真空泵的問與答

1、Q：真空泵有什么用？

  A：真空泵的作用就是從真空腔體中抽除氣體分子，降低真空腔體內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。

2、Q：每個腔體選擇一種真空泵就行了嗎？

   A：從大氣到*真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一 種真空泵能覆蓋這個范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置，科銳詩汀可以提供的真空泵就包括：前級泵（各種旋片泵，干泵）、維持泵（羅茨泵）、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵等等全系列。

 3、Q：選擇真空泵時要注意哪些參數(shù)？

    A: a、工作真空范圍: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。 

b、確定極限真空度：系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 

c、被抽氣體種類與抽氣量：如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 

d、真空容積：同時確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 

e、抽氣速率：考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

4、Q：真空泵的選型需要注意些什么？

A: 選用真空泵時需要注意以下事項：  

1. 真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10^-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。
2. 正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴(kuò)散泵為10^-3~10^-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10^-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作壓強應(yīng)小于1×10^-5mmHg為好。
3.  真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4. 正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵（例如科銳詩汀代理的普發(fā)分子泵）不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
5. 真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種干泵，還有水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
6. 了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
7. 真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選干泵，或者把油蒸氣排到室外。
8. 真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。科銳詩汀將為客戶提供性價比高的選擇。
 

深圳市科銳詩汀科技有限公司代理以下真空泵產(chǎn)品：

    1、美國安捷倫（Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、羅茨泵、分子泵、分子泵機(jī)組、擴(kuò)散泵、離子泵。
    2、德國普發(fā)（PFEIFFER）的旋片泵、隔膜泵、螺桿泵、泵組、羅茨泵、分子泵、分子泵機(jī)組。

    3、英國愛德華（EDWARDS）真空泵

    4、德國萊寶（LEYBOLD）真空泵

    5、日本阿耐思特巖田干泵（ISP-50、ISO-90、ISP-250C、ISP500C、ISPC-1000）